解像度1μm以下の直接描画露光装置を開発、SCREEN：先端半導体パッケージに対応 - EE Times Japan

... 技術が注目されている。 ... ソニーのCIS技術が生きる！ 細胞の活動を「圧倒的な高解像度」で可視化する新技術 ...