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特許 係属中 Metalorganic vapour phase epitaxy (MOVPE), also known as organometallic vapour phase epitaxy (OMVPE) or metalorganic chemical vapour deposition (MOCVD),[1] is a chemical vapour deposition method used to produce single or polycrystalline thin films. It is a highly complex process for growing crystalline layers to create complex semiconductor multilayer structures.
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