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特許 権利維持 Cantilevered beams are the most ubiquitous structures in the field of microelectromechanical systems (MEMS). An early example of a MEMS cantilever is the Resonistor,[5][6] an electromechanical monolithic resonator. MEMS cantilevers are commonly fabricated from silicon (Si), silicon nitride (Si3N4), or polymers.
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